Iş teoriýasy：

Ojagy vakuuma öňünden sokup, soňra temperaturany kesgitlemek üçin gyzdyryp, nitrid prosesi üçin ammiak çişiriň, soňra nitrit çuňlugyna ýetmek üçin birnäçe siklden soň nasoslaň we täzeden çişiriň.

Üstünlikleri:

Adaty gaz nitridi bilen deňeşdiriň. Wakuum ýyladyşda metal üstüň işjeň bolmagy bilen, wakuum nitridi has az adsorbsion kuwwatyna eýe, az iş wagtyny, has ýokary gatylygy,takykgözegçilik, az gaz sarp etmek, has dykyz ak birleşme gatlagy.