Wakuum karburizasiýa iş bölegini wakuumda gyzdyrmakdyr.Kritiki nokatdan ýokary temperatura ýetende, belli bir wagtlap galar, oksid plyonkasyny peselder we aýyrar, soňra karburizasiýa we diffuziýa üçin arassalanan karburizasiýa gazyndan geçer.Wakuum karburizasiýasynyň karburizasiýa temperaturasy ýokary, 1030 up çenli we karburizasiýa tizligi çalt.Karburizlenen bölekleriň üstki işjeňligi degassirlemek we deoksidleşdirmek arkaly gowulaşýar.Ondan soňky diffuziýa tizligi gaty ýokary.Karburizasiýa we diffuziýa zerur ýerüsti konsentrasiýa we çuňluga ýetýänçä yzygiderli we gezekli-gezegine amala aşyrylýar.
Wakuum karburizasiýa çuňlugy we ýerüsti konsentrasiýa gözegçilik edilip bilner;Metal bölekleriniň üstki gatlagynyň metallurgiki aýratynlyklaryny üýtgedip biler we täsirli karburizasiýa çuňlugy beýleki usullaryň hakyky karburizasiýa çuňlugyndan has çuňdyr.